参考答案：

①细胞内蛋白质、DNA受损（DNA分子碱基发生分解或氢键断裂等），致微生物细胞活动紊乱，甚至停止。

②破坏细胞内膜，引起酶系统紊乱致死。

③当水分子被激活和电离后，形成游离基，起氧化还原作用，这些激活的水分就与微生物内的生理活性物质相互作用，而使细胞生理机能受到影响。