事故应急处置工作头绪多、任务重，而且是在非常紧急的情况下开展的，因此稍有不慎会造成更大的损失。其中现场情景与应急资源是否匹配，是决定应急处置工作能否取得成功的最重要的因素。

下图是硅烷反应淀积多晶硅的过程，写出发生反应的方程式，并简述其中1～5各步的含义。