参考答案：

半导体芯片制造工艺对水质的要求极为严格，纯水质量对半导体芯片的性能、质量、成品率有极大的影响。随着高度集成复杂电路和微波器件的发展，对纯水质量的要求也不断提高。

超纯水水质指标的变化：