问题
问答题 简答题
半导体芯片制造对厂房洁净度有什么要求?
答案
参考答案:
空气中的一个小尘埃将影响整个芯片的完整性、成品率,并影响其电学性能和可靠性,所以半导体芯片制造工艺需在超净厂房内进行。1977年5月,原四机部颁布的《电子工业洁净度等级试行规定》如下:
电子工业洁净度等级试行规定:
按器件产品种类和要求所采用的洁净标准:
半导体芯片制造对厂房洁净度有什么要求?
参考答案:
空气中的一个小尘埃将影响整个芯片的完整性、成品率,并影响其电学性能和可靠性,所以半导体芯片制造工艺需在超净厂房内进行。1977年5月,原四机部颁布的《电子工业洁净度等级试行规定》如下:
电子工业洁净度等级试行规定:
按器件产品种类和要求所采用的洁净标准: