参考答案：晶体内的原子是按一定的原则周期性地排列着的。如果在晶体中的一些区域，这种排列遭到破坏，我们称这种破坏为晶体缺陷。晶体缺陷对半导体材料的使用性影响很大，在大多数情况下，它使器件性能劣化直至失效。因此在材料的制备过程中都要尽量排除缺陷或降低其密度。晶体缺陷的控制是材料制备的重要技术之一。

晶体缺陷的分类：

（1）点缺陷，如空位、间隙原子、反位缺陷、替位缺陷和由它们构成的复合体。

（2）线缺陷，呈线状排列，如位错就是这种缺陷。

（3）面缺陷，呈面状，如晶界、堆垛层错、相界等。

（4）体缺陷，如空洞、夹杂物、杂质沉淀物等。

（5）微缺陷，几何尺寸在微米级或更小，如点缺陷聚集物、微沉淀物等。