参考答案：电学参数、化学纯度、晶体学参数、几何尺寸。

电学参数包括电阻率、导电类型、载流子浓度、迁移率、少数载流子寿命、电阻率均匀性等。

化学纯度是指材料的本底纯度。

晶体学参数有晶向、位错密度。

几何尺寸包括直径、晶片的厚度、弯曲度、翘曲度、平行度和抛光片的平坦度等。