参考答案：

（1）工具的振幅与频率。提高振幅与频率，可以提高加工速度。

（2）进给压力。加工时工具对工件应有一个适当的压力。

（3）磨粒。磨粒硬度高和颗粒大都有利于提高加工速度。

（4）磨粒悬浮液浓度。随着浓度增加，加工速度也增加。

（5）被加工材料。被加工材料愈脆，加工速度愈快。