参考答案：

①机组抽真空前开启系统内所有阀门

②关闭与大气连通的阀门

③开启压力表阀

④连接机组放空阀与抽氟机入口

⑤打开放空阀

⑥启动抽氟机

⑦确认机组真空度达到3mmHg（绝对真空）

⑧关闭放空阀

⑨停抽氟机