参考答案：

能谱仪分析的是微区成分，分析范围为11-92的元素，若开鈹窗能分析5-92的元素，分析精度可达5%；。

俄歇谱仪分析的是极表层的成分，分析深度只有1nm.

X光电子能谱仪也是分析表层成分，但X光电子能谱仪可以提供元素价态。