参考答案：

检测：确定被测器件（DUT）是否具有或者不具有某些故障。

诊断：识别表现于DUT的特定故障。

器件特性的描述：确定和校正设计或者测试中的错误。

失效模式分析（FMA.：确定引起DUT缺陷制造过程中的错误。