问题
名词解释
物理气相沉积
答案
参考答案:
“物理气相沉积”通常指满意下面三个步骤的一类薄膜生长技术:A.所生长的材料以物理的方式由固体转化为气体;B.生长材料的蒸汽经过一个低压区域到达衬底;C.蒸汽在衬底表面上凝聚,形成薄膜。
物理气相沉积
参考答案:
“物理气相沉积”通常指满意下面三个步骤的一类薄膜生长技术:A.所生长的材料以物理的方式由固体转化为气体;B.生长材料的蒸汽经过一个低压区域到达衬底;C.蒸汽在衬底表面上凝聚,形成薄膜。