问题 名词解释

物理气相沉积

答案

参考答案:

“物理气相沉积”通常指满意下面三个步骤的一类薄膜生长技术:A.所生长的材料以物理的方式由固体转化为气体;B.生长材料的蒸汽经过一个低压区域到达衬底;C.蒸汽在衬底表面上凝聚,形成薄膜。

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