问题 填空题

在外延工艺中,如果膜和衬底材料(),例如硅衬底上长硅膜,这样的膜生长称为();反之,膜和衬底材料不一致的情况,例如硅衬底上长氧化铝,则称为()。

答案

参考答案:相同;同质外延;异质外延

单项选择题
单项选择题 B1型题