问题
填空题
原材料用硅砂,先将其还原为纯度为97%-98%的(),为了进一步提高纯度,将金属硅与()反应,生成(),再将其还原,热分解得到纯度为99.99999%以上的多晶硅。
答案
参考答案:金属硅;盐酸;三氯氢硅
原材料用硅砂,先将其还原为纯度为97%-98%的(),为了进一步提高纯度,将金属硅与()反应,生成(),再将其还原,热分解得到纯度为99.99999%以上的多晶硅。
参考答案:金属硅;盐酸;三氯氢硅