问题 问答题 简答题

叙述从硅砂到单晶硅棒和多晶硅锭的主要步骤及其相关制备工艺名称。

答案

参考答案:

(1)使用电炉用炭将硅砂还原为冶金级硅;

(2)冶金级硅提纯为半导体级硅:西门子法和ASiMi法(硅烷法);

(3)半导体级多晶硅原材料转变成单晶硅和多晶硅:单晶硅的制备主要有直拉单晶法(CZ法)和浮融(FZ-FloatZonE.法。铸造多晶硅有三种主要的方法有Bridgman法、铸锭法和电磁铸造法(MEC.。

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