深度处理的方法有（）。①粒状活性炭吸附法；②臭氧一粒状活性炭联用法；③生物活性炭法，④化学氧化法；⑤光化学氧化法；⑥超声波一紫外线联用法。

A、①③⑤⑥

B、②③④⑥

C、①②③④⑥

D、①②③④⑤⑥