装备技师的分配权限明细是（）。

A.负责装备出库、装备入库、库存装备检查、库存装备保养、装备退役报废维护

B.负责装备日常使用、装备日常检查保养、装备置、装备维修、装备退役报废维护

C.可以查看装备规划、装备调（价）拨，调配、直接配备、装备出入库、装备台帐、装备维修、装备退役报废实力统计等内容

D.负责装备出库、装备入库、库存装备检查、库存装备保养审批

哪种化学气体经常用来刻蚀多晶硅？描述刻蚀多晶硅的三个步骤。