参考答案：

①设备管线大检查

②压缩空气吹扫

③吸附剂的装填

④氮气气密

⑤氮气吹扫、置换

⑥原料气升压

⑦采用手动控制进行粗调

⑧采用自动控制进行细调

⑨切换系统功能调节