参考答案：

吸附步骤从开始到结束，吸附器内杂质逐渐增加，吸附步骤后的降压（E1D、E2D、E3D、E4D、E5D.过程吸附器内杂质总量没有增加，在逆放和抽空过程中，吸附器内杂质逐渐减少，抽空结束后，吸附器内杂质量降低到最低限。在升压过程即E5R、E4R、E3R、E2R、E1R吸附器内杂质量无变化。