参考答案：

准直溅射技术是在高真空溅射时，在衬底正上方插入一块有高纵横比孔的平板，称为准直器。溅射原子的平均自由程足够长，则在准直器与衬底之间几乎不会发生碰撞。因此只有速度方向接近于垂直衬底表面的溅射原子才能通过准直器上的孔到达衬底表面，而且这些原子更可能淀积在接触孔的底部，这样就不会因接触孔顶两拐角的接近（甚至接触）造成到达底部溅射原子过少，从而出现孔底角出薄膜太薄（甚至不相连）的现象。