参考答案：

分为暗流区，汤生放电区，辉光放电区，电弧放电区。

辉光放电区分为

c-d：前期辉光放电区

d-e：正常辉光放电区

e-f：反常辉光放电区

其中溅射选定区域在反常辉光放电区