参考答案：①反应物在室温下最好是气态，或在不太高温度就有相当的蒸汽压，且易获得高纯品；②能形成所需的沉积层，反应副产物均易挥发；③沉积装置简单，操作方便，适于批量生产，成本低廉。化学气相沉积法反应类型：热分解反应、化学合成反应、化学输运反应。