作为推行“低碳经济”的重要科技进步成果.太阳能光伏发电成为上海世博会的“亮点”.太阳能光伏发电最关键的材料是高纯硅,生产高纯硅的流程示意图如下:
![](https://img.ixiawen.com/uploadfile/2017/0413/20170413110236667.png)
(1)写出从粗硅到SiHCl3的化学方程式______.
(2)“精馏”也是蒸馏的一种形式.通过蒸馏可把液体混合物分离开,原理是利用混合物各成分的______(填“熔点”或“沸点”)不同.
(3)整个制备过程必须达到无水无氧.在H2还原SiHCl3,过程中若混入O2,可能引起的后果是______;______.
(4)为了达到资源综合利用,上述生产流程中某些物质可循环使用,这些物质是______(填化学式).
(5)石英砂的主要成分是SiO2,含有少量杂质Al2O3.若要除去石英砂中少量的杂质,可选用的试剂是______(填化学式).