按照物流的功能分将物流成本分为（）.

A.运输成本

B.仓储成本

C.流通加工成本

D.包装成本

E.装卸与搬运成

F.物流信息和管理费用

在刻蚀（）过程中假如我们在CF₅的等离子体内加入适量的氧气，能够提高刻蚀的速率。

A.铜

B.铝

C.金

D.二氧化硅