氮化硅是一种非氧化物高温陶瓷结构材料，具有高硬度、高强度、耐腐蚀等特性，其超强的拉弯强度达到8× 10⁴～10×10⁴ N·cm^-2，并且在1200℃高温下不会下降。用氮化硅陶瓷制成的内燃机不需冷却装置， 可节约燃料30%左右，热转换率提高到40%～ 50%。粉末状的氮化硅可以由SiCl₄的蒸气和氨气的混合物反应制取。粉末状的氮化硅在空气和水中都不稳定，但若将粉末状的氮化硅和适量的MgO在230×1.01×10⁵ Pa和185℃的密闭容器中热处理，可以制得结构十分紧密而且在空气和水中都十分稳定的高温结构材料。氮化硅陶瓷抗腐蚀能力强，除氢氟酸以外，它不与其他无机酸反应。

(1)根据元素周期律和元素周期表知识，请写出氮化硅的化学式_____________。

(2)写出由SiCl₄和NH₃反应制备氮化硅的化学反应方程式：______________。 过去，工业上曾普遍采用高纯硅与纯氮在1 300℃ 反应制氮化硅，现用四氯化硅和氮气在氢气气氛保护下，加强热发生反应，也可制得较高纯度的氮化硅，其反应方程式为____________。

(3)分别写出粉末状氮化硅与氢氟酸、H₂O、O₂反应的化学方程式____________。

(4)推测该氮化硅陶瓷被腐蚀的化学反应方程式____________。

(5)试思考说明为什么结构紧密的氮化硅不受H₂O、O₂的侵蚀________________。