氮化硅是一种高温陶瓷材料，它熔点高、硬度大，化学性质稳定，工业上曾普遍采用高纯硅与纯氮在1 300 ℃反应制得。

(1)根据性质，推测氮化硅的用途是(填序号)   (　　)。

A．制汽轮机叶片

B．制有色玻璃

C．制永久模具

D．制造柴油机(2)氮化硅陶瓷抗腐蚀能力强，除氢氟酸外，它不与其他无机酸反应，试推测该陶瓷被氢氟酸腐蚀的化学方程式_____________________________________________________。

(3)四氯化硅和氮气在氢气气氛保护下，加强热发生反应，可得较高纯度的氮化硅，反应的化学方程式为___________________________________________________。