由元素在周期表中的相对位置可知，X为氦元素，Y为F元素，Z为S元素，M为Cl元素．

A、同周期随原子序数增大，非金属性增强，所以非金属性M＞Z，同主族自上而下非金属性减弱，所以非金属性Y＞M，所以非金属性Y＞M＞Z，故A错误；

B、X为氦元素，属于稀有气体元素，故B正确；

C、同周期随核电荷数增大，原子半径减小，所以原子半径Z＞M，同主族自上而下原子半径增大，所以原子半径M＞Y，所以原子半径Z＞M＞Y，故C错误；

D、氟原子质子数为9，核外电子数为9，有2个电子层，最外层有7个电子，原子结构示意图为

，故D错误．

故选：B．