A、Na、Mg、Al属于同一周期，且Na、Mg、Al的原子序数依次增大，所以原子半径依次减小，故A错误；

B、N、O、F属于同一周期，且N、O、F的原子序数依次增大，所以原子半径依次减小，故B错误；

C、P、Si、Al属于同一周期，且P、Si、Al的原子序数依次减小，所以原子半径依次增大，故C正确；

D、C、Si属于同一主族，C的原子序数小于Si的，所以碳的原子半径小于硅的原子半径；Si、P属于同一周期，且

Si的原子序数小于P的原子序数，所以Si的原子半径大于P的原子半径，P的电子层数比碳的多，所以P的原子半径大于C的原子半径，C、Si、P的原子半径从小到大的顺序为C、P、Si，故D错误；

故选C．