作为推行“低碳经济”的重要科技进步，太阳能光伏发电成为2010年上海世博会的“亮点”。太阳能光伏发电最关键的材料是高纯硅，三氯甲硅烷(SiHCl₃)还原法是当前制备高纯硅的主要方法。生产流程示意如下：

（1）石英砂的主要成分是SiO₂，工业上制取粗硅的化学方程式为：SiO₂+2CSi+2R，R的化学式为______；该反应的基本类型是____________。

（2）整个制备过程必须达到无水无氧。在H₂还原SiHCl₃过程中若混入O₂，可能引起的后果是______________________。

（3）为了达到绿色化学和资源综合利用的目的，在生产过程中物质A需要循环使用，A的化学式是____。