① 5H₂   ② Cu    ③ CO₃^2-   ④    ⑤ H₂O₂  ⑥  S^2-

①根据分子的表示方法：正确书写物质的化学式，表示多个该分子，就在其化学式前加上相应的数字，因此5个氢气分子表示为：5H₂；故答案为：5H₂；

②根据原子的表示方法：用元素符号来表示一个原子，表示多个该原子，就在其元素符号前加上相应的数字．因此一个铜原子表示为：Cu；故答案为：Cu；

③根据离子的表示方法：在表示该离子的元素符号右上角，标出该离子所带的正负电荷数，数字在前，正负符号在后，带1个电荷时，1要省略．若表示多个该离子，就在其元素符号前加上相应的数字；因此碳酸根离子表示

为：CO₃^2-；故答案为：CO₃^2-；

④根据元素化合价的表示方法：确定出化合物中所要标出的元素的化合价，然后在其化学式该元素的上方用正负号和数字表示，正负号在前，数字在后，因此铁元素的化合价为+3价表示为：

；故答案为：；

⑤根据化学式的正确书写方法，因此过氧化氢的化学式表示为：H₂O₂；故答案为：H₂O₂；

⑥根据原子的表示方法，因此硫离子表示为：S^2-；故答案为：S^2-．