参考答案：

吸附步骤从开始到结束，吸附器内的杂质量是逐渐增加的。吸附结束后的卸压如E1D、E2D、E3DPE4D过程吸附器内杂质界面虽然上移，但杂质总量是没有增加的，在排放和被吹扫过程中，吸附器内的杂质逐渐减少，吹扫结束时，吸附器内的杂质量降低到最低限。