判断以下常见分子的中心原子的杂化轨道类型（用序号填空）。

① NH₄⁺ ② CH₂O ③ NH₃ ④ SO₂ ⑤ BeCl₂ ⑥ H₂O ⑦ CO₂

sp³杂化的是_____________，sp²杂化的是____________，sp杂化的是_____________。