晶体硅是一种重要的非金属材料。制备纯硅的主要步骤如下：

①高温下用碳还原二氧化硅制得粗硅；

②粗硅与干燥HCl气体反应制得SiHCl₃：Si+3HClSiHCl₃+H₂；

③SiHCl₃与过量H₂在1000～1100℃反应制得纯硅。已知SiHCl₃能与H₂O剧烈反应，在空气中易自燃。

请回答下列问题：

(1)第①步制备粗硅的化学方程式为________________。

(2)粗硅与HCl反应完全后，经冷凝得到的SiHCl₃(沸点33.0℃)中含有少量SiCl₄（沸点57.6℃）和HCl（沸点 - 84.7℃），提纯SiHCl₃的方法为_________________。

(3)用SiHCl₃与过量H₂反应制备纯硅的装置如图所示（热源及夹持装置均已略去）：

①装置B中的试剂是_______，装置C中的烧瓶需要加热，其目的是________。

②装置D中发生反应的化学方程式为_____________________。

③为保证制备纯硅实验的成功，操作的关键是检查实验装置的气密性，控制好反应温度以及________。