参考答案：

激发：样品受光管产生的一次X射线激发，产生样品元素自身的荧光X射线。

单色化：由样品组成元素发射的不同波长的荧光X射线，经晶体分光变成代表不同元素波长单一的荧光X射线。

光电转换：单色化的荧光X射线经探测器光电转换，由不能直接测量的光子变成可测的脉冲信号。

测量：测量X射线的波长进行定性分析；测量一种波长的强度进行定量分析。