答案：C

题目分析：根据质量守恒定律，在化学反应中，原子种类、原子数目都不变；反应前含有三个硅原子、四个氮原子，因此一个R分子中有三个硅原子和四个氮原子，硅元素一般显正价，氮元素显负价，按照“正前负后”可知氮化硅的化学式为Si₃N₄，故选C。