参考答案：（1）高频发生器产生的交变电磁场，使通过等离子体火炬的氩气电离，加速并与其他氩原子碰撞，形成等离子体。

（2）过滤或消解处理过的样品经过样器中的雾化器被雾化，并由氩载气带入等离子体火炬中被原子化、电离、激发。

（3）不同元素的原子在激发或电离时可发射出特征光谱，特征光谱的强弱与样品中原子浓度有关，标准溶液进行比较，即可定量测定样品中各元素的含量。