已知数列a₁，a₂，…，a₃₀，其中a₁，a₂，…，a₁₀是首项为1，公差为1的等差数列；a₁₀，a₁₁，…，a₂₀是公差为d的等差数列；a₂₀，a₂₁，…，a₃₀是公差为d²的等差数列（d≠0）．

（1）若a₂₀=40，求d；

（2）试写出a₃₀关于d的关系式，并求a₃₀的取值范围；

（3）续写已知数列，使得a₃₀，a₃₁，…，a₄₀是公差为d³的等差数列．

硬胶囊的制备一般分为（）的制备和（）的制备、填充、封口等工艺过程。