氮化硅是一种高温陶瓷材料，它的硬度大、熔点高，化学性质稳定，工业上曾普遍采用高纯硅与氮气在1300℃反应制得。它可做汽轮机叶片、永久性模具、柴油发动机等。

(1)氮原子的结构示意图为________________，氮化硅的化学式为_______________。

(2)氮化硅陶瓷抗腐蚀能力强，除氢氟酸外，它不与其他无机酸反应。试写出该陶瓷被氢氟酸腐蚀的化学方程式：__________________________________。

(3)现用四氯化硅和氮气在氢气保护下，加强热发生反应，可得较高纯度的氮化硅，反应的化学方程式为：______________________________。