据报道，太阳能光伏发电在上海世博会上得到了大规模的应用，总装机容量超过4.68兆瓦。

（1）发展太阳能产业主要优点是（填一点即可）___________________。

（2）太阳能光伏发电最关键的材料是高纯硅，下图是我市某多晶硅生产企业生产高纯硅的流程示意图：

发生的反应为：①SiO₂+2CSi+2CO↑；②Si+3HClSiHCl₃+H₂↑；③SiHCl₃+H₂Si+3HCl。整个制备过程必须达到无水无氧。在H₂还原SiHCl₃过程中若混入O₂，可能引起的后果是________________。

（3）为了达到绿色化学和节约资源的目的，上述流程中某化合物需要循环使用，该物质的化学式是________。