答案：D

题目分析：非金属性为F>O>S，所以热稳定性为HF>H₂O>H₂S，故A错误；F无正化合价，所以最高正化合价为N>C>F，故B错误；酸性为H₂SO₄F>H₃PO₄>H₂CO₃，故C正确；非金属性Cl>S>Si，故D正确。

点评：本题考查了元素周期律，该考点是高考考查的重点和热点，本题难度不大。