A、工业制取氧气是分离液态空气法，利用液态氮的沸点与液态氧的沸点不同，只是混合物的分离，没有新的物质生成，属于物理变化，故A错；

B、粗盐提纯的步骤是溶解、过滤、蒸发只是将混合物分离开，得到纯净的氯化钠，属于混合物的分离，没有新的物质生成，属于物理变化，故B错；

C、光合作用是植物吸收二氧化碳和水，释放出氧气和有机物，所以有新的物质生成，属于化学变化，故C正确；

D、水受热生成水蒸气只是由液态变为气态，没有新的物质生成，属于物理变化，故D错．

故选C．