答案：C

分析：化学变化是指有新物质生成的变化，物理变化是指没有新物质生成的变化，化学变化和物理变化的本质区别是否有新物质生成；据此分析判断．

解答：解：A、运行电脑CPU的过程中没有新物质生成，属于物理变化．

B、蒸发液态空气制取氧气的过程中没有新物质生成，属于物理变化．

C、绿色植物通过光合作用获得氧气的过程中有新物质生成，属于化学变化．

D、石蜡受热熔化的过程中没有新物质生成，属于物理变化．

故选C．