A．反应①为SiO₂+2C

高温 .

Si+2CO↑，反应②Si（粗）+3HCl

553K-573K .

SiHCl₃+H₂，反应③SiHCl₃+H₂

1380K .

Si（粗）+3HCl，三个方程式中元素的化合价均发生变化，均属于氧化还原反应，故A正确；

B．生产高纯硅的流程示意图可知，H₂和HCl既是反应物，又是生成物，所以可重复利用的物质是H₂和HCl，故B正确；

C．SiO₂是原子晶体，硬度大、熔点高，故C正确；

D．SiHCl₃摩尔质量为135.5g/mol，故D错误；

故选D．