发现井下电器设备着火时，应该怎么办？

如图是有关氧气的知识网络图（条件略），请用相关化学用语填空．

（1）物质⑤的化学式为______．

（2）得到物质⑥的化学方程式是：______．

（3）由物质①制取氧气的化学方程式是：______．