问题 问答题 简答题

简述硅栅p阱CMOS的光刻步骤。

答案

参考答案:

P阱光刻,光刻有源区,光刻多晶硅,P+区光刻,N+区光刻,光刻接触孔,光刻铝线。

单项选择题
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