问题
问答题 简答题
简单叙述一下pn结隔离的NPN晶体管的光刻步骤。
答案
参考答案:
第一次光刻:N+隐埋层扩散孔光刻
第二次光刻:P隔离扩散孔光刻
第三次光刻:P型基区扩散孔光刻
第四次光刻:N+发射区扩散孔光刻
第五次光刻:引线孔光刻
第六次光刻:反刻铝
简单叙述一下pn结隔离的NPN晶体管的光刻步骤。
参考答案:
第一次光刻:N+隐埋层扩散孔光刻
第二次光刻:P隔离扩散孔光刻
第三次光刻:P型基区扩散孔光刻
第四次光刻:N+发射区扩散孔光刻
第五次光刻:引线孔光刻
第六次光刻:反刻铝