问题 问答题 简答题

简单叙述一下pn结隔离的NPN晶体管的光刻步骤。

答案

参考答案:

第一次光刻:N+隐埋层扩散孔光刻

第二次光刻:P隔离扩散孔光刻

第三次光刻:P型基区扩散孔光刻

第四次光刻:N+发射区扩散孔光刻

第五次光刻:引线孔光刻

第六次光刻:反刻铝

填空题
多项选择题