答案：C

题目分析：A、水变水蒸气，只是水由液态变成气态没有新物质生成，属于物理变化；B、金刚石加工成钻石只是形状改变，还是金刚石，没有新物质生成，属于物理变化；C、绿色植物的光合作用 ，吸收氧气呼出二氧化碳，有新物质生成，是化学变化；D、分离液态空气制氧气过程中没有新物质生成，属于物理变化．