问题
多项选择题
影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面（）。
A.等离子体蚀刻系统的形态
B.等离子体蚀刻的参数
C.光刻胶
D.待蚀刻薄膜的淀积参数条件
答案
参考答案：A, B, C
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影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面（）。
A.等离子体蚀刻系统的形态
B.等离子体蚀刻的参数
C.光刻胶
D.待蚀刻薄膜的淀积参数条件
参考答案：A, B, C