A、SO₂中氧元素的质量分数=

16×2

32+16×2

×100%=50%

B、CuO中氧元素的质量分数=

16

64+16

×100%=20%

C、SO₃中氧元素的质量分数=

16×3

32+16×3

×100%=60%

D、CuSO₄中氧元素的质量分数=

16×4

64+32+16×4

×100%=40%

从计算的结果可知，SO₃中氧的质量分数最高．

故选：C